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提纯电极
 

高纯石英坩埚用提纯电极

 

产品概述:

用电弧法制的半导体半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今,半导体产业和光伏单晶硅产业已普遍采用这种坩埚取代了小的透明石英坩埚,具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。

在电弧法制备石英坩埚中,提纯石墨电极具有耐高温、导电、高纯度等优点,是目前广泛使用的导电电极。

 

技术指标

 

指标

KW-RG

KW-HG

体积密度(g/cm3

1.68-1.72

1.75-1.80

抗压强度(Mpa )  

40

45

抗折强度(Mpa)   

20

22

电阻率( μΩM ) 

8.5

8.0

灰分(ppm) 

30-50

10-30

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